山东罗丹尼分析仪器有限公司

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程控旋涂仪
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程控旋涂仪

山东罗丹尼 LDN-4/6/8pro 系列程控旋涂仪（又称匀胶机）是专为科研院所、高校实验室及中小批量生产场景打造的高精度薄膜制备核心设备。设备采用先进的 PLC 控制系统与全彩触屏交互设计，可实现从碎片到 8 英寸圆形底物的全尺寸兼容，通过精准的转速控制与真空吸附系统，确保薄膜厚度均匀、重复性好，是半导体光刻、光电显示、MEMS 器件制造、功能涂层研发等领域不可或缺的关键工艺设备。
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匀胶机/旋涂仪

 

型号：LDN-4/6/8pro

生产厂家：罗丹尼

 

本款程控匀胶机是专为科研院所、高校实验室及中小批量生产打造的薄膜制备核心设备，稳定支持 1~8 英寸标准晶圆与异形基片加工，广泛适配半导体光刻、光电显示、MEMS、功能涂层等多领域工艺需求。

 

产品特点：

①　透明视窗上翻盖，同心加液口

②　PLC控制，5寸全彩触屏操作

③　可处理基片尺寸范围：碎片至4/6/8寸圆形底物

④　转速范围：20-10000rpm

⑤　屏显真空度，带手动调压旋钮

⑥　可配备多种规格真空载物盘

⑦　电压：220V/50HZ

⑧　仪器尺寸：650*470*H320mm

本文网址 ： https://www.ldnins.com/product/161.html
标签 ： 旋涂仪 程控匀胶机 实验室旋涂仪 晶圆旋涂仪 半导体旋涂仪

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