产品特点
• 采用5寸彩色触摸屏操作界面，人机交互操作方便，界面友好；
• 手动、自动两种工作模式；
• 微电脑控制整个清洗过程，全自动进行；
• 采用电子流量计+手动微调阀的气路控制模式，标配双气路，最多可配置四气路；
• 可选择气体质量流量计（选配，最多4路气体）
• 弧形等离子激发板，等离子激发能力更强；
• 安全保护，气压阈值，切断高压；
技术参数
舱体尺寸：D270*ø150mm
舱体容积：4.6L
射频电源：40KHz
激发方式：电容式
射频功率：10~300W
气体控制：电子流量计+旋钮式微调阀
产品尺寸：L460*W455*H237mm
真空泵抽速：
真空度：100Pa以内
电源：AC220V50-60Hz
