2026-04-07
如果我要在4英寸晶圆上涂5微米的AZ5214光刻胶,可编程序匀胶机应该怎么设置转速和时间?
本文详细解析在4英寸晶圆上通过可编程序匀胶机涂覆5微米AZ5214光刻胶的工艺参数设置。结合LDN-4SC匀胶机的实测数据,提供精准的转速、时间及加速度配置方案,解决厚胶涂覆不均难题,并附常见问题Q&A,助力科研与产线精准工艺调试。
查看更多